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激光切割机退火技术
【 来源:原创 】 【 发布时间:2016-05-04 】 【 字体:
激光切割机退火技术是半导体加工的一种新工艺,效果比常规热退火好得多。激光退火后,杂质的替位率可达到98%~99%,可使多晶硅的电阻率降到普通加热退火的1/2~1/ 3,还可大大提高集成电路的集成度,使电路元件间的间隔缩小到0.5微米。
添加时间:2016-05-04  浏览次数:891



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